EtherCAT技术集团与行业领导者合作,为半导体DC和射频功率发生器创建了一种特定的设备配置文件,命名为ETG.5003.2010和ETG.5003.2011。直流和射频功率发生器是高科技制造业,如半导体晶圆、太阳能电池和平板显示器生产的关键过程的高精度过程控制和电弧管理的需要。精确的直流和射频功率发生器是优良的薄膜质量和均匀性结果所必需的。直流电源发电机将交流电源转换为精确调节的直流电源,范围从低到高功率输出取决于设备。射频功率发生器在大功率和频率范围内将交流功率转换为可调节的射频输出功率。两个发电机采取传感器反馈,以确保清洁的精确功率控制等离子应用。beplay app
ETG.5003.2010是直流电源的专用设备配置文件,ETG.5003.2011是射频电源的SDP。两个sdp都描述了每个设备的网络可见组件,并且在对象索引、状态和控制位等方面都非常相似。这些sdp足够灵活,可以用于大多数频率范围和功率范围的发电机。它包括低功率(1kw)到高功率(96kW及以上)的设备。直流剖面,2010,用于直流发电机和射频剖面,2011,涵盖低,中和高频率的设备。
首先需要找到一个EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈来实现通用的EtherCAT通信。然后您可以开始构建CDP和SDP。这个SDP的实现必须与CDP一起完成,因为许多SDP是基于CDP规范的。大多数SDP都与设备对象字典和PDO映射的软件需求有关。该SDP的实现需要详细了解SDP规范和设备的应用程序。
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HMS在这个过程的每一步都提供硬件、软件和开发服务。HMS在工业通信方面的经验和专业知识可以用来开发部分或全部的SDP和CDP。请参阅下图,回顾HMS如何协助ETG.5003的整个发展过程:
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