EtherCAT技术集团与行业领导者合作,为半导体过程控制阀创建了一个名为ETG.5003.2030的特定设备配置文件。过程控制阀是一种机电组件,用作压力、流量或位置控制器。
ETG.5003.2030描述了半导体过程控制阀的网络可见组件。该SDP确定了两种不同类型的过程控制阀:上游压力控制器(UPC)和下游压力控制器(DPC)。UPCs通过调节工艺室上游(在供气源和工艺室之间)的气体流量来控制压力设定值。DPCs非常相似(通常称为“直接”),但它们在过程室的下游,在室和真空泵之间。每一个的SDP规范都非常相似,只是在对象字典和电源连接器要求上略有变化。
首先需要找到一个EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈来实现通用的EtherCAT通信。然后您可以开始构建CDP和SDP。这个SDP的实现必须与CDP一起完成,因为许多SDP是基于CDP规范的。大多数SDP都与设备对象字典和PDO映射的软件需求有关。该SDP的实现需要详细了解SDP规范和设备的应用程序。
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HMS在这个过程的每一步都提供硬件、软件和开发服务。HMS在工业通信方面的经验和专业知识可以用来开发部分或全部的SDP和CDP。请参阅下图,回顾HMS如何协助ETG.5003的整个发展过程:
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