EtherCAT技术集团已与行业领导者合作,为半导体粗泵创建了特定的设备配置文件,称为ETG.5003.2050。粗泵提供最初的大气压力降低,以便另一个泵系统可以运行。
ETG.5003.2050描述了半导体粗泵的网络可见组件。本SDP确定了粗泵装置的两种配置:第一种是粗真空泵,第二种是粗真空泵和增压泵。粗真空泵将大气压力降低到另一个泵系统可以运行的设定值。在主泵的进口处增加增压泵,使真空泵进口处的压力进一步降低。SDP还确定了两种控制模式:协调模式,即助力器自动跟随Roughing泵;独立模式,即助力器通过一个控制位启动。这个SDP还调用了一些特定的对象字典和PDO映射需求。
您将需要从寻找EtherCAT从控制器和EtherCAT从软件堆栈开始,以实现一般的EtherCAT通信。然后可以开始构建CDP和SDP。这个SDP的实现必须与CDP一起完成,因为大部分的SDP都是基于CDP规范的。这个SDP的大部分内容都适用于设备对象字典和PDO映射的软件需求。SDP的实现需要详细了解SDP规范和设备的应用程序。
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