以太科技集团は、ETG.5003.2000と呼ばれる半導体の排ガス処理装置・ファブ周辺システム用の 特定设备配置文件を作成するために業界のリーダーとパートナーシップを構築してきました。これらのシステムは主に、半導体製造プロセスにおける排ガス処理を行うものです。排ガス処理装置は通常、ひとつの共通処理システムにつながる多数のポンプで構成されています。
ETG.5003.2000は、排ガス処理装置・ファブ周辺システム用の 特定设备配置文件で、半導体製造装置の排ガス処理装置・ファブ周辺システムのうちネットワークで確認できるコンポーネントについて記述しています。これらのシステムは主に、半導体製造プロセスにおける排ガス処理を行うものです。排ガス処理装置は通常、ひとつの共通処理システムにつながる多数のポンプで構成されています。ファブ周辺システムのインターフェースにより、粗引ポンプ (ETG.5003.2050)やターボ分子ポンプ (ETG.5003.2070)などの追加の半導体デバイスを統合できます。
一般的な 以太猫通信を実装するには、まず 以太猫スレーブコントローラーと 以太猫スレーブソフトウェアスタックを見つけるところから始める必要があります。次に、CDPと SDPの構築を始めます。この SDPの実装は、多くが CDPの仕様に基づいているため、CDPと併せて行う必要があります。SDPの大部分がデバイスオブジェクトディクショナリと PDOのマッピングに関するソフトウェア要件に関するものです。この SDPの実装には、SDP仕様とデバイスのアプリケーションについての詳細な知識が必要です。
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HMSは、このプロセスの各ステップに対するハードウェア、ソフトウェア、開発サービスを提供します。SDPや CDPの部分的またはすべての開発に、HMSの産業用通信における経験と専門知識をぜひご活用ください。以下の図で ETG.5003開発プロセス全体を通じて HMSがどのようにお客様をサポートできるのかご覧ください。
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