EtherCAT科技集团は,ETG.5003.2050と呼ばれる半導体製造装置の粗引ポンプ用の特定的设备概要文件を作成するために業界のリーダーとパートナーシップを構築してきました。粗引ポンプは,別のポンプシステムが作動可能となるようにまず大気圧を低減するものです。
ETG.5003.2050は,半導体製造装置に使用される粗引きポンプのネットワークで確認できるコンポーネントについて記述しています。このSDPは,粗引き真空ポンプと粗引き真空ポンプおよびブースターポンプの2種類の粗引きポンプデバイスの構成を提示しています。粗引き真空ポンプは,別のポンプシステムが作動可能となる設定値(セットポイント)まで大気圧を低減します。主ポンプのインレットにブースターポンプを追加すると,真空ポンプインレットの圧力がさらに減圧されます。このSDPでは2種類の制御モードを提示しています。ブースターが粗引きポンプに自動的に連動する协调模式(調整モード)と,コントロールビットでブースターが起動する独立模式(独立モード)です。このSDPは,特定のオブジェクトディクショナリとPDOマッピングの要件も呼び出します。
一般的なEtherCAT通信を実装するには,まずEtherCATスレーブコントローラーとEtherCATスレーブソフトウェアスタックを見つけるところから始める必要があります。次に,CDPとSDPの構築を始めます。このSDPの実装は,多くがCDPの仕様に基づいているため,CDPと併せて行う必要があります。SDPの大部分がデバイスオブジェクトディクショナリとPDOのマッピングに関するソフトウェア要件に関するものです。このSDPの実装には,SDP仕様とデバイスのアプリケーションについての詳細な知識が必要です。
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HMSは,このプロセスの各ステップに対するハードウェア,ソフトウェア,開発サービスを提供します。SDPやCDPの部分的またはすべての開発に,HMSの産業用通信における経験と専門知識をぜひご活用ください。以下の図でETG.5003開発プロセス全体を通じてHMSがどのようにお客様をサポートできるのかご覧ください。
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